(2023年4月1日)
常務執行役員（執行役員）イノベーションユニット長、小林邦裕
常務執行役員電子機材ユニット長兼基盤事業支援ユニット長（執行役員電子機材ユニット副ユニット長兼電子機材海外事業部長）相田智之
常務執行役員工業ガスユニット長兼基盤事業支援ユニット副ユニット長（執行役員中部支社長）飯塚浩幸
プラントエンジニアリングセンター長（オンサイト・プラントユニット長兼プラントエンジニアリングセンター副センター長）執行役員、柳川徹
中部支社長（経営企画・ICT・ユニット長）執行役員、竹内聡一郎
執行役員、メディカルユニット長、古海敏恵
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(2022年4月1日)
常務執行役員（執行役員）電子機材ユニット長兼基盤事業支援ユニット副ユニット長、高木正治
執行役員、経営企画・ICT・ユニット長、竹内聡一郎
電子機材ユニット副ユニット長兼電子機材海外事業部長（九州支社長）執行役員、相田智之
ガスエンジニアリングセンター長（つくば研究所長）執行役員技術開発ユニット長、武内雅弘
プラントエンジニアリングセンター副センター長兼企画業務（業務統括ユニット長）執行役員、東剛
理事 メディカルユニット長（バイオ・メディカル事業部長兼事業推進部長）古海敏恵
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(2021年4月1日)
技術全般担当（エンジニアリング本部長）取締役兼専務執行役員、上原正弘
常務執行役員コーポレートユニット長（執行役員）取締役人事部長、亘聡
工業ガスユニット長兼基盤事業支援ユニット長（産業ガス事業本部長）常務執行役員ガス事業部長、栗下敏一
常務執行役員プラントエンジニアリングセンター長（執行役員エンジニアリング本部副本部長兼PEセンター所長）佐藤豊幸
常務執行役員技術統括ユニット長（執行役員技術本部長）三木健
イノベーションユニット長（イノベーション事業本部長）執行役員、小林邦裕
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(2020年10月1日)
社長、永田研二
取締役兼専務執行役員エンジニアリング本部長、上原正弘
取締役兼執行役員人事部長、亘聡
常勤監査役、池上勉
監査役、小林一也
常務執行役員関東支社長、柳田裕久
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