(2024年4月1日)
取締役兼常務執行役員（執行役員）M&Sセンター長、栗田直幸
退任（取締役）寺田正人
退任（取締役）川田泉
執行役員、製品開発センター長、竹原聡
執行役員、企画管理部長、橋本宣昭
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(2023年4月1日)
執行役員、M&Sセンター長、栗田直幸
製品開発センター長、竹原聡
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(2020年4月1日)
生産センター第二製造部長、中島玲司
生産センター生産企画部長（第二製造兼旭化成マイクロシステム延岡事業所長）津田亮
研究開発センターデバイス・プロセス応用開発部長、望月秀則
品質保証センター品質認定部長、品質経営推進部長、大矢清和
M&S・センターソリューション開発第一部長、徳永潤
M&S・センターソリューションソリューション開発第四部長、高塚俊徳
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(2019年1月1日)
革新事業プロジェクト長、竹下英亘
M&Sセンターセンター長（営業本部長）黒沢治行
M&Sセンター統括部長（同本部営業統括部長）山本高宏
M&Sセンターマーケティング第一部長（同営業第二部長）山中英武
M&Sセンターマーケティング第二部長（シリコンSL事業部シリコンSL事業推進部長）中嶋健太
M&Sセンターマーケティング第三部長（営業本部営業第一部長）田村厚之
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