(2017年4月1日)
営業担当兼営業統轄部長（サービス統轄担当）取締役兼専務執行役員、広瀬誓雄
ＰＥ連携担当（事業統轄担当）上席執行役員、六反正道
開発・製造・新規事業担当兼事業開発統轄部長（ＧＡ統轄・製造統轄担当兼ＧＡ統轄部長）執行役員、川田亨
開発統轄部長（ＧＡ統轄部副統轄部長）武内雅彦
営業統轄部副統轄部長兼グローバル営業（ＧＡ統轄部副統轄部長）藤井明宏
開発統轄部副統轄部長（ＧＡ統轄部副統轄部長）菅和真
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(2014年10月4日)
新事業企画、木谷孝則
事業統轄部長兼事業推進、白石康人
統轄部長、柿田高徳
副統轄部長、藤井明宏
ＭＴビジネス、三浦一成
ＰＥビジネス、奥西哲也
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(2014年4月1日)
副会長（社長兼最高執行責任者）橋本正博
社長兼最高執行責任者（取締役広報ＩＲ・ＧＰＳ・Ｇ10担当）垣内永次
管理本部副本部長（経営戦略本部長兼ディ・エス・ファイナンス社長）取締役ビジネスサービスセンター長、南島新
経営戦略本部長広報ＩＲ・ＧＰＳ・Ｇ10担当（ビジネスサービスセンター副センター長兼人事Ｇ長）取締役、沖勝登志
ＦＰＤ機器Ｃ会長（ＦＰＤ機器Ｃ社長兼成膜応用技術統轄部長）常務執行役員、林隼人
同社長兼成膜応用技術統轄部長（技術開発センター副センター長兼エネルギー開発Ｇ長）上席執行役員、広江敏朗
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