(2019年2月1日)
半導体装置事業部営業第一部長、荘司真理
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(2017年4月1日)
光学本部担当、取締役兼常務執行役員コアテクノロジー本部長、大木裕史
人事・総務本部大井製作所長、小倉宏之
業務本部品質・環境管理部長、関道子
ＩＴソリューション本部ＩＴ戦略企画部長（コアテクノロジー本部企画部長）飯田光生
知的財産本部知的財産二部長、知的財産本部長、井上英也
知的財産本部知的財産三部長、平尾詩乃
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(2012年6月1日)
半導体露光装置事業部長（営業本部長）執行役員副プレジデント、馬立稔和
企画本部長、事業企画部ゼネラルマネジャー、小田島匠
企画本部サービス戦略部ゼネラルマネジャー（営業本部営業管理部ゼネラルマネジャー）宮岡久泰
半導体露光装置事業部営業本部長（生産本部製造管理部ゼネラルマネジャー）山石裕之
半導体露光装置事業部営業本部営業第三部ゼネラルマネジャー、荘司真理
半導体露光装置事業部生産本部長補佐兼製造管理部ゼネラルマネジャー（営業本部サービス戦略部ゼネラルマネジャー）石塚伸之
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