(2023年10月1日)
開発研究所エネルギー・電子材料グループマネージャー（開発研究所エネルギー・電子材料グループ）吉仲正豊
機能マテリアル事業部ガスケミカル部長（機能マテリアル事業部ガスケミカル部）藤原学
技術室部長（開発研究所エネルギー・電子材料グループマネージャー）辛島修一
（技術室部長）サステナビリティ推進室部長、佐藤讓宣
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(2023年4月1日)
会長兼執行役員会長（社長兼執行役員社長）荻原淳二
社長兼執行役員社長（取締役兼執行役員専務ソリューション事業本部長）塚本剛（つかもと　たけし）
ソリューション事業本部長（ソリューション事業本部副本部長）執行役員、中原信幸
執行役員グローバルビジネス推進本部副本部長、小野寺力
経営推進本部長代理兼経営企画（ソリューション事業本部長代理）滝本浩司
営業本部長代理（第三営業統括部長）藤原学
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(2023年2月1日)
常務兼常務執行役員コーポレート統括本部長（取締役兼執行役員管理本部長）藤原学
取締役（常務兼常務執行役員デジタルインダストリー事業本部長）立石博
取締役（同兼常務執行役員サービスインテグレーション事業本部長）河野十四郎
執行役員（監査）境俊治
コーポレート統括本部管理本部長（デジタルインダストリー事業本部スマートファクトリー事業部長）執行役員、江上太
デジタルインダストリー事業本部長（コネクティッドサービス事業部長）執行役員、酒井靖男
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(2022年7月1日)
執行役員、藤原学
執行役員、高野茂雄
執行役員、山崎勝美
執行役員、小原透
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