(2018年6月28日)
取締役（経営監査部長）鶴見淳
顧問（取締役）藤生孝一
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(2016年6月29日)
新事業開発本部担当（経営戦略本部・メディカル事業推進本部・新事業開発本部管掌）社長兼社長執行役員、牛田一雄
取締役兼副社長執行役員兼ＣＦＯ経営監査部・経営戦略本部・財務・経理本部担当（顧問）岡昌志
ヘルスケア事業担当（業務本部・映像事業部・マイクロスコープ・ソリューション事業部・産業機器事業部管掌）取締役兼常務執行役員、岡本恭幸
知的財産本部・エンコーダ事業室担当（知的財産本部・半導体装置事業部・ＦＰＤ装置事業部・カスタムプロダクツ事業部・ガラス事業室・エンコーダ事業室管掌）取締役兼常務執行役員コアテクノロジー本部長、大木裕史
取締役、明治安田生命保険取締役兼執行役社長、根岸秋男
取締役（常勤監査役）橋爪規夫
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(2014年6月27日)
会長（社長兼社長執行役員）木村真琴
社長兼社長執行役員新事業開発本部・メディカル事業推進本部管掌（取締役兼副社長執行役員精機カンパニープレジデント兼知的財産本部担当兼経営企画本部副担当）牛田一雄（うしだ　かずお）
経営戦略本部管掌（経営企画本部・財務・経理本部・情報セキュリティ推進本部担当）代表取締役兼副社長執行役員兼ＣＦＯ、伊藤純一
映像事業部・業務本部管掌（映像カンパニープレジデント）取締役兼常務執行役員、岡本恭幸
財務・経理本部管掌（財務・経理本部長）取締役兼常務執行役員、橋爪規夫
コアテクノロジー本部長兼知的財産本部・半導体装置事業部・マイクロスコープ・ソリューション事業部・産業機器事業部管掌（コアテクノロジーセンター長）取締役兼常務執行役員、大木裕史
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