(2019年4月1日)
執行役専務兼日立ハイテクファインシステムズ社長（執行役常務）モノづくり戦略本部長、本田穣慈
CFO財務本部長（CIO兼CTrO）執行役常務、桜井真司
産業ソリューション事業統括本部長（先端産業部材事業統括本部長）執行役常務、田嶋浩
執行役常務兼CDO（執行役産業システム事業統括本部長兼日立ハイテクソリューションズ社長）飯泉孝
CSO（日立ハイテクノロジーズ韓国会長）執行役、加藤仁
産業ソリューション事業統括本部副統括本部長（先端産業部材事業統括本部副統括本部長）執行役、三善慶太
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(2015年10月1日)
人事総務本部那珂総務部長、福井紳哉
生産企画部長（科学・医用システム事業統括本部那珂地区生産本部生産技術部長）小野良寛
品質保証本部品質企画部長（同本部ＱＭシステム推進センタ長）亘重範
新事業創生本部企画部長（ソリューションビジネス推進センタ長）野口稔
新事業創生本部ソリューションビジネス推進センタ長（企画部長）岡山祐孝
科学・医用システム事業統括本部科学システム営業本部科学システム二（関西支店科学・医用システム）田中努
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