(2023年6月23日)
会長（社長兼社長執行役員営業統括担当）大久保和正
社長兼社長執行役員（副社長兼副社長執行役員）坂田輝久（さかた　てるひさ）
常務兼常務執行役員（上席執行役員）MEMS統括部長、宮本佳幸
取締役（専務）足立安孝
取締役、宮島渉
取締役、千葉桜えりか
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(2019年6月25日)
専務兼専務執行役員（常務兼常務執行役員）管理部門統括部長、足立安孝
常務執行役員（執行役員）MEMS統括部長、坂田輝久
上席執行役員（執行役員）本社MEMS工場長、森隆一郎
執行役員生産統括担当、生産統括部長、藤井昭彦
執行役員製品技術統括担当、製品技術統括部長、沢井守康
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(2017年6月下旬)
常務兼常務執行役員（取締役管理部門統括管掌）管理部門統括部長、足立安孝
取締役、吉田博之
取締役（常勤監査役）竹原克尚
取締役（監査役）田村耕一
取締役（監査役）浜田幸和
執行役員（取締役）営業統括部長兼第一製品統括部長兼熊本事業所長、大沢茂巳
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(2015年6月20日)
取締役、足立安孝
同資材兼品質保証担当（品質保証）執行役員、藤原範和
監査役、西井博生
退任（監査役）赤松光弘
執行役員、生産管理・、真野朋宏
品質保証、坂本邦夫
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