(2022年4月1日)
輸出貿易管理室長兼輸出管理第2部長（業務統括センター副センター長兼東京支店長）平井良治
Scanning系事業部門EP事業ユニット長（MP技術本部長兼カスタマーサポート兼開発部長）野久尾毅
MS事業ユニット長（MS事業ユニット副ユニット長）MS技術開発部長、村山和秋
品質保証室長（品質保証室副室長兼品質保証部長）山口浩志
サプライチェーンセンター副センター長、生産本部長、菅野正彦
サプライチェーンセンターSE生産本部長（工場管理本部副本部長兼生産管理部長）小島一俊
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(2019年4月1日)
経営戦略副担当（経営戦略室長）取締役兼常務執行役員、大井泉
フィールドソリューション事業部副事業部長（科学・計測機器営業本部担当兼ブランドコミュニケーション副担当）執行役員、大久保忠
経営戦略室長、経営企画部長、塩田将司
輸出貿易管理室副室長、佐藤泰彦
IT本部長兼IT企画室長（IT本部副本部長兼システム開発部長）山本智佐司
ブランドコミュニケーション本部ブランド企画推進部長、ブランドコミュニケーション本部副本部長、塩野宗一
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(2018年4月1日)
統括開発技術副担当（統括開発技術担当）代表取締役兼副社長執行役員、岩槻正志
業務統括センター担当、取締役兼専務執行役員、福山幸一
統括開発技術・知的財産担当（Ｓｃａｎｎｉｎｇ系事業部門・ＥＭ担当）取締役兼常務執行役員、田沢豊彦
知的財産・品質保証副担当（知的財産・品質保証・フィールドソリューション事業担当）常務執行役員、若宮亘
品質保証担当兼ＪＧＭＳ責任者（知的財産・品質保証副担当）執行役員、福田浩章
総務担当（総務本部長）執行役員業務管理室長、関敦司
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(2013年4月1日)
ＩＥ事業Ｕ担当（商品企画・開発・周辺機器・ＳＡ事業Ｕ・ＳＭ事業Ｕ・ＳＡ・ＳＭ設計室担当）代表取締役兼専務執行役員、岩槻正志
コストＣ・知的財産・品質保証担当兼品質保証室長兼ＩＭＳ統括責任者（コストＣ・知的財産・品質保証副担当）執行役員、若宮亘
開発・基盤技術Ｃ・周辺機器・ＳＡ事業Ｕ・ＳＭ事業Ｕ・ＩＢ事業Ｕ・ＳＡ・ＳＭ設計室担当兼ＩＢ事業Ｕ長（ＳＡ事業Ｕ長兼ＳＭ事業Ｕ長兼商品企画室長）同、田沢豊彦
経営戦略室副室長（戦略企画）杉沢寿志
営業戦略本部長（データムソリューション事業部ソリューションビジネス本部長）若狭崇
開発・基盤技術Ｃ長（ＳＥ事業Ｕ・ＳＥシステム設計）真部弘宣
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