(2023年4月1日)
監査役（SCREENホールディングス経理・財務室経理部長）西垣正朗
退任（監査役）吉川敦則
CSR統轄部統轄部長、執行役員事業統轄部長兼経営推進部長、岡本昭彦
CSR統轄部安全保障貿易管理部長（CSR部長）小松裕樹
CSR統轄部安全衛生推進部長、内田伸
CSR統轄部ESG推進部長、吾子健一郎
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(2020年10月1日)
グローバルセールス統轄部アジア営業二部長、菊池文哉
フロンティア技術統轄部プロダクトマネジメント部長（熱処理プロダクト部長）野崎仁秀
フロンティア技術統轄部熱処理プロダクト部長、加藤慎一
びわこ工場品質管理一部長、草野圭市
ST統轄部ポストセールス部長（びわこ工場品質管理一部長）富田浩明
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(2018年5月1日)
ビジネス本部ＳＣＭ統轄部副統轄部長（CCS製品統轄部 特命担当副統轄部長）佐藤誠一郎
ビジネス本部ＦＴＭ製品統轄部熱処理プロダクト部長（処理プロダクト部副部長）野崎仁秀
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