(2023年12月中旬)
代表取締役（取締役）鈴木貴幸
取締役、美濃島薫
退任（取締役）小館香椎子
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(2022年12月中旬)
会長（社長）昼馬明
副会長（副社長）鈴木賢次
社長兼社長執行役員（代表取締役）丸野正（まるの ただし）
副社長兼副社長執行役員（取締役）加藤久喜
専務執行役員、取締役、鈴木貴幸
取締役、上席執行役員、森和彦
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(2020年12月18日)
社長執行役員、社長、昼馬明
副社長執行役員、副社長電子管事業部長、鈴木賢次
専務執行役員、代表取締役固体事業部長兼レーザ事業推進部長、山本晃永
常務執行役員、取締役中央研究所長、原勉
常務執行役員、取締役管理本部長、吉田堅司
常務執行役員、取締役システム事業部長、丸野正
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(2017年12月22日)
副社長（専務電子管事業部長）竹内純一
取締役（常勤監査役）森和彦
取締役、システム副事業部長、丸野正
取締役、固体副事業部長、鈴木貴幸
社外取締役、鯉渕健
常勤監査役（知的財産部長）宇津山晃
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