(2024年4月1日)
代表取締役兼社長執行役員兼SCREENElectronicsShanghai董事長兼SCREENSPETaiwan董事長（執行役員事業統轄部長兼経営推進）CSR統轄部長、岡本昭彦
取締役（代表取締役兼社長執行役員兼SCREENElectronicsShanghai董事長兼SCREENSPETaiwan董事長）後藤正人
DX担当兼IT統轄部長、取締役兼常務執行役員経営戦略統轄部長、石村学
退任（取締役）石川義久
常務執行役員装置戦略担当（上席執行役員SCM担当）長谷川公二
生産・SCM・PS担当（製造担当）執行役員、小條泰弘
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(2021年10月1日)
グローバルセールス統轄部アジア営業部長、執行役員グローバルセールス統轄部長、成瀬務
HR・インフラ担当兼HR・インフラ統轄部長兼HR・経営推進部長（SCREENSPEシンガポール社長）執行役員、岡本昭彦
グローバルセールス統轄部国内営業一部長（国内営業部長）竹原正司
グローバルセールス統轄部国内営業二部長（フロンティア営業部長）五十嵐公明
技術管理部長、森田彰彦
洗浄開発統轄部統轄部長（洗浄技術統轄部洗浄技術開発部長）高橋弘明
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(2020年4月1日)
執行役員ST統轄部長（シニア・テクニカル・マネジメントSCM統轄部長兼貿易統轄部長）長谷川公二
マーケティング部長、杉本洋昭
HR・インフラ統轄部インフラ推進部長、山本大介
経営戦略統轄部業務改革推進部長、小林知之
グローバルセールス統轄部副統轄部長、欧米星営業部長、黒川慶之
ST統轄部副統轄部長（貿易統轄部副統轄部長）ポストセールス部長、赤井文昭
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(2019年4月1日)
取締役、石川義久
監査役、島純子
退任（取締役）沖勝登志
退任（取締役）灘原壮一
退任（取締役）近藤洋一
執行役員、グローバルセールス統轄部長兼アカウント営業一部長、成瀬務
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