(2021年3月25日)
社長（副社長）中島卓実（なかじま　たくみ）
取締役（執行役員）関根正信
取締役、恒川孝二
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(2018年4月1日)
生産工場長（管理・支援センター所長）副社長、柳楽卓司
管理・支援センター所長（生産工場長）取締役、渡辺敏昭
生産工場副工場長（装置製造部長）執行役員部品製造部長、宮下茂
受託装置部長、執行役員、関根正信
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(2018年3月26日)
執行役員、調達兼富士事業所長、青木一樹
執行役員、生産工場装置製造兼部品製造部長、宮下茂
執行役員、関根正信
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(2016年1月1日)
装置事業部長（第二装置事業部長）執行役員、吉田達彦
装置事業部副事業部長（経営企画センター副所長）池本学
装置事業部副事業部長（第二装置事業部副事業部長）福永勉
装置事業部副事業部長（第一装置事業部副事業部長）吉原誠
装置事業部副事業部長兼技術営業部担当部長（第二装置事業部副事業部長）石原雅仁
装置事業部副事業部長兼制御開発（第一装置事業部副事業部長）関根正信
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