(2017年6月27日)
執行役員副社長、取締役、明世範
取締役、ハンス・ユルゲン・ヴァーグナー＝Hans-JuergenWagner
取締役、塚越聡一
相談役（取締役）黒江真一郎
顧問（取締役）中村弘志
常務執行役員、キース・ハードウィック＝KeithHardwick
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(2016年6月28日)
専務執行役員ナノテクノロジー担当兼ナノテクノロジー事業本部長（常務執行役員企画・渉外担当兼社長室長兼ＰｏｗｅｒＤｅｖｉｃｅＥｎａｂｌｉｎｇＧｒｏｕｐリーダー）取締役、吉田芳明
社長室長兼新企画商品開発室副室長兼ＰｏｗｅｒＤｅｖｉｃｅＥｎａｂｌｉｎｇＧｒｏｕｐリーダー、常務執行役員、津久井幸一
ナノテクノロジー事業本部副本部長（テクノロジー開発本部長）執行役員、関野隆
管理本部事業総務部長、下山真理
事業推進本部標準化推進部長、塙隆宏
メモリテスト事業本部第２開発部長、坂井満
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(2014年9月1日)
テクノロジー開発本部長（テクノロジー開発本部副本部長）執行役員、関野隆
ＳｏＣテスト事業本部ビジネス・ディベロップメント、ＳｏＣテスト事業本部副本部長、鈴木雅之
ナノテクノロジー事業部第１商品開発（ＣＳ）菅谷慎二
同商品販売、ビジネス支援・、荒井一宏
同ＣＳ（第１商品開発）坂本樹一
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(2013年6月26日)
取締役企画・渉外担当兼社長室長（経営企画室長兼ＣＳＲ・環境推進室長兼ＣＳＲワーキンググループリーダー兼新企画商品開発室副室長）常務執行役員ＣＳＲ・環境推進センタ副センタ長兼パワーデバイスイネブリンググループリーダー、吉田芳明
新規事業担当兼新企画商品開発室副室長（生産本部長）常務執行役員、今田英明
品質保証本部長兼ＣＳＲ・環境推進センタ副センタ長（フィールドサービス本部長）執行役員、杉浦孝
テクノロジー開発本部副本部長（テクノロジー開発本部長）同、関野隆
生産本部長（生産本部副本部長）同、塚越聡一
テクノロジー開発本部長、執行役員ＳｏＣテスト事業本部長、岡安俊幸
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