(2024年6月20日)
副会長（社長兼COO）本坊吉博
社長兼COO（専務執行役員）滝沢利治
監査役、戸井川岩夫
イノベーションセンター推進担当（取締役兼CTO）専務執行役員、青木睦郎
退任（監査役）八戸孝彦
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(2022年10月1日)
技術総合研究所長、取締役兼専務執行役員兼CTO兼CQO、青木睦郎
T.V.W.推進室担当、執行役員総務部長、立田寛
高機能樹脂・製品本部副本部長（人事兼T.V.W.推進室・人材開発担当）執行役員、野辺淳嗣
人事兼人材開発担当（生産調達本部副本部長兼生産調達企画部長）執行役員、後藤智子
H&S事業本部副本部長兼商品開発部長（研究開発本部長）能勢正章
技術総合研究所イノベーション推進室長（CTO室長）宇井潤一
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(2019年6月20日)
会長（社長）CEO、滝沢利一
社長兼COO（副社長執行役員）本坊吉博（ほんぼう よしひろ）
取締役兼上席専務執行役員（専務兼専務執行役員）CCO、黒川清敬
取締役兼CTO兼CQO（研究開発本部長兼知的財産・品質保証・リサイクルウエハー事業担当）専務執行役員、青木睦郎
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(2019年4月1日)
副社長執行役員、本坊吉博
専務執行役員（常務執行役員）研究開発本部長研究開発本部長兼知的財産・品質保証・リサイクルウエハー事業担当、青木睦郎
執行役員中国事業統括、海外統括本部副本部長、滝沢利治
執行役員海外統括本部副本部長兼米国事業統括、バルカーアメリカ社長、古沢実
執行役員待遇（執行役員）タイバルカー社長、藤下尚彦
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