(2021年11月1日)
プロセス開発本部長（技術開発本部長）金山健司
プロセス開発本部第一プロセス開発（量産設計本部第三設計）南政克
プロセス開発本部第二プロセス開発（技術開発本部要素技術開発）高沢裕真
プロセス開発本部第三プロセス開発（技術開発本部プロジェクトリーダ）湯浅和宏
プロセス開発本部要素プロセス開発、広瀬義朗
システム開発本部長（量産設計本部長兼製品戦略プロジェクトリーダ）富山事業所長代理、小竹繁
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(2018年4月1日)
電子機械事業部事業戦略本部事業企画部長、石黒認
電子機械事業部グローバルサービス統括本部長、グループ運営戦略室長、内野敏幸
電子機械事業部グローバルサービス統括本部フィールドエンジニアリング本部長、矢野雅彦
電子機械事業部グローバルサービス統括本部フィールドエンジニアリング部長、高道健
生産統括本部量産設計本部第三成膜装置設計部長、竹林雄二
生産統括本部製造本部生産技術部長、高島克美
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(2017年6月20日)
取締役兼常務執行役員（執行役員）中村寛
取締役兼常務執行役員（執行役員）田村穂積
常勤監査役（ドコモＣＳ副社長）須藤章二
監査役（ＮＴＴデータ・マネジメント・サービス社長）寒河江弘信
退任（副社長）寺崎明
退任（取締役）尾上誠蔵
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