(2017年6月28日)
代表取締役兼社長執行役員（社長）渡辺将人
取締役兼専務執行役員（専務）太田正志
取締役兼常務執行役員（常務）タイリング室長、西尾悟
取締役兼常務執行役員（常務）鈴木仁
取締役兼常務執行役員（常務）春日晃
常務執行役員、取締役本社工場長、万谷哲朗
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(2016年6月29日)
開発本部・テクニカルセンター担当、常務海外本部長、黒野透
生産本部・品質保証室・環境施設室担当（開発本部・テクニカルセンター担当）取締役、落合基男
取締役（常勤監査役）坂田修
取締役（監査役）新海雄二
取締役（顧問）岩佐英史
顧問（専務生産本部・品質保証室・環境施設室担当）松下隆行
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(2015年6月25日)
取締役（常勤監査役）森隆生
同（監査役）辻中修
同（同）鮎沢多俊
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(2012年6月22日)
取締役、ディスク事業本部長、大脇寿樹
取締役、シリコン事業本部長、鈴木勝弘
監査役、川下政美
退任（監査役）鮎沢多俊
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