(2013年4月1日)
日立ハイテクフィールディング社長（モノづくり統括本部長兼モノづくり統括本部那珂地区生産本部長）執行役常務、杉山秀司
モノづくり統括本部長兼ファインテックＳ業務本部長（ファインテックＳ事業統括本部副統括本部長兼設計開発本部長）執行役、富岡秀起
監査室部長（財務本部埼玉経理）四元稔治
経営戦略本部ライフインフォマティクスセンタ長（研究開発本部企画）飯泉孝
副本部長、人事総務企画・、疋田邦雄
人財開発センタ長（那珂総務）伊藤信也
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(2010年10月1日)
調達戦略、執行役常務ナノテクノロジー製品事業本部長兼那珂事業所長兼ＣＴＯ、松坂尚
経営戦略本部新事業創生、Ｃプロ推進センタ長、野口稔
財務本部経理（業務）中島隆一
同業務（ナノテクノロジー製品事業本部経理）桜井真司
研究開発本部企画、研究開発本部長、田中洋幸
同第一、江角真
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(2010年10月1日)
調達戦略、執行役常務ナノテクノロジー製品事業本部長兼那珂事業所長兼ＣＴＯ、松坂尚
経営戦略本部新事業創生、Ｃプロ推進センタ長、野口稔
財務本部経理（業務）中島隆一
同業務（ナノテクノロジー製品事業本部経理）桜井真司
研究開発本部企画、研究開発本部長、田中洋幸
同第一、江角真
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