(2019年4月1日)
執行役員光学本部シナジー推進部長、光学本部長、大村泰弘
財務・経理本部長兼財務企画部長、経理部長、奥村徹也
人事・総務本部相模原製作所長（横須賀製作所長）黒田俊晴
人事・総務本部熊谷製作所長、平井実
人事・総務本部横須賀製作所長、笹尾康人
生産本部原価企画部長、調達部長、石渡啓悦
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(2015年1月1日)
人事・総務本部横須賀製作所長、黒田俊晴
半導体装置事業部生産統括部製造管理部長、高畠良之
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