(2022年6月24日)
取締役、執行役員事業本部長、前田繁
取締役、執行役員グローバル事業本部長、小崎勝
取締役、小山珠美
取締役、上田亮子
エグゼクティブアドバイザー（取締役）笹本和夫
退任（取締役）本郷仁基
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(2021年4月1日)
グローバル事業本部担当（グローバル事業本部長）取締役兼専務執行役員、本郷仁基
事業本部担当（事業本部長）取締役兼専務執行役員、黒田健治
内部統制・SDGs担当、常務執行役員管理本部長、藤本靖博
事業本部長、執行役員第一ビジネスユニット長、前田繁
執行役員、事業本部第一ビジネスユニット熊本第一事業部長、松崎敏行
執行役員グローバル事業本部長（HirataFAEngineeringManagingDirector）小崎勝
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(2019年4月1日)
専務執行役員（執行役員）管理本部長、安高純一郎
専務執行役員（執行役員）グローバル事業本部長、本郷仁基
専務執行役員（執行役員）事業本部長、黒田健治
常務執行役員事業本部担当（執行役員装置事業部長）藤原五男
常務執行役員（執行役員）CTO研究開発本部長、平賀靖英
常務執行役員事業本部担当（執行役員事業本部長）市原雄一
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(2018年4月1日)
調達本部長（事業本部長）取締役兼執行役員、田中敏治
事業本部長（調達本部長兼品質管理担当）取締役兼執行役員、黒田健治
事業本部長（熊本事業部長）取締役兼執行役員、市原雄一
製造・デバイスセンター担当（事業本部デバイスセンター長）取締役兼執行役員、平田正治郎
管理本部経営企画担当（経営企画部長）執行役員、兼子利憲
事業本部熊本第一事業部長（熊本事業部第一システム部長）前田繁
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