(2012年10月15日)
情報セキュリティ推進本部担当、取締役兼副社長執行役員兼ＣＦＯ、伊藤純一
情報セキュリティ推進本部長、取締役兼常務執行役員ビジネススタッフセンター長、金沢健一
情報セキュリティ推進本部戦略部ゼネラルマネジャー（システム本部ＩＴ基盤技術部ゼネラルマネジャー）小笠原尚也
情報セキュリティ推進本部技術部ゼネラルマネジャー（精機カンパニー半導体露光装置事業部生産本部アドバンストエンジニアリング部ゼネラルマネジャー）鈴木博之
システム本部ＩＴ基盤技術部ゼネラルマネジャー、佐伯優
精機カンパニー半導体露光装置事業部生産本部アドバンストエンジニアリング部ゼネラルマネジャー、田代英之
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(2012年10月10日)
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(2012年10月9日)
取締役改革推進室長、執行役員、熊沢昭一郎
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(2012年10月1日)
社長（副社長）北村吉郎（きたむらよしろう）
取締役（社長）駒井幸三
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