(2023年4月1日)
コンプライアンス部長、林泰斗
財務部長、蜂谷将平
エッジコンピューティング事業部エッジデバイス部長、エッジコンピューティング事業部長、若林研悟
四日市研究センター精密電子研究所副所長、アドバンスリソグラフィー材料開発室長、丸山研
同研究所リソグラフィーソリューション開発室長、高梨和憲
RDテクノロジー・デジタル変革センターJSR・東京大学協創拠点CURIE室長、長谷川公一
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(2023年4月1日)
会長（社長）津田博之
社長（取締役兼常務執行役員）山崎学（やまざき まなぶ）
取締役相談役（会長）中島泉
常務執行役員営業・事業総括兼国内グループ会社管掌（執行役員管理総括兼管理本部長）取締役、秦芳彦
海外総括（海外事業本部長兼国内グループ会社管掌）常務執行役員、生駒進
近畿営業本部長（中部営業本部長）執行役員、錦織利行
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(2023年4月1日)
執行役員、坂口陽彦
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(2023年4月1日)
取締役、執行役員グループ経営本部長兼グループ内部監査室長、広谷慎吾
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