(2022年10月1日)
経理部長、岩野譲
電子材料事業部リソグラフィー材料部長（四日市研究センター精密電子研究所リソグラフィー材料開発室長）川上峰規
四日市研究センター精密電子研究所リソグラフィー材料開発室長、大塚昇
四日市研究センター精密電子研究所アドバンスリソグラフィー開発室長、丸山研
四日市研究センター精密電子研究所先端実装材料開発室長、長谷川淳史
JSR・慶応義塾大学医学化学イノベーションセンター長（JSR・慶応義塾大学医学化学イノベーションセンター副センター長）宮本秀俊
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(2022年10月1日)
執行役員、中国本社GM、ジョー・キット・チュー・ラム
執行役員、米国本社GM、ジム・トラン
マイクロアクチュエータソリューションズビジネスグループGM、牛尾充
コーポレートマーケティング&インキュベーション本部コーポレートマーケティンググループGM、本間弘樹
コーポレートマーケティング&インキュベーション本部コーポレートマーケティンググループGM、クリスティアン・ホフマン
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(2022年10月1日)
マシナリー事業産業機器営業部長（兄弟機械商業上海董事長兼総経理）藤沢則彦
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(2022年10月1日)
営業推進部長、執行役員デジタルソリューションズ事業部長、牧良浩
法務・知的財産本部法務部長、三谷佳子
ITソリューション本部デジタル技術部長、川又一徳
FPD装置事業部開発統括部第三開発部長、浅見隆之
デジタルソリューションズ事業部第一開発・技術部長（開発・技術部長）デジタルソリューションズ事業部副事業部長、榊原康之
デジタルソリューションズ事業部第二開発・技術部長、水野正朝
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