(2022年1月1日)
営業本部営業企画部長、石井秀政
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(2022年1月1日)
スーパーシティ事業推進本部長兼クロスインダストリー事業開発本部上席プロフェッショナル（クロスインダストリー事業開発本部長）小野田勇司
クロスインダストリー事業開発本部長（東京オリンピック・パラリンピック推進本部長）水口喜博
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(2022年1月1日)
半導体装置事業部副事業部長（開発統括部長）執行役員、森田真弘
財務・経理本部副本部長、松本武史
半導体装置事業部開発統括部長、白田陽介
カスタムプロダクツ事業部営業部長、千葉明広
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(2022年1月1日)
経済安全保障統括室長、専務執行役員知的財産法務本部長、長沢健一
R&D本部R&D推進センター所長、執行役員R&D副本部長、新庄克彦
IR/MIセンターE事業推進プロジェクトチーフ、真崎達也
渉外本部渉外センター所長、森川剛志
情報通信システム本部IT管理・セキュリティセンター所長、牛久保一幸
知的財産法務本部知的財産第一技術センター所長（知的財産第二技術センター所長）藤原英之
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