(2025年1月1日)
ファシリティ管理本部長、執行役員、神戸誠
インダストリアルグループ光学機器事業本部半導体機器事業部長、執行役員、三浦聖也
デジタルビジネスプラットフォーム開発本部ソフトウェア第三開発センター所長、DBP開発統括部門長兼ソフトウェア第一開発センター所長、岩本朋美
人事本部人事統括センター所長（人材・組織開発センター所長）須藤由紀
人事本部人材・組織開発センター所長、高橋慎
調達本部副本部長（事業調達推進センター所長）佐藤博文
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(2025年1月1日)
映像事業部開発統括部開発推進部長、堀田智
精機事業本部半導体装置事業部サステイニング技術戦略室長、上原祐作
精機事業本部半導体装置事業部開発統括部カスタマーソリューション部長、菊地貴久
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(2024年12月20日)
執行役員、海外事業本部長、劉嵩
深圳皇冠中国電子董事、常務執行役員業務本部長、林慎一
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(2024年12月1日)
監査室長（経営戦略本部知財法務部部長補佐）小木多加志
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