(2016年6月28日)
専務執行役員ナノテクノロジー担当兼ナノテクノロジー事業本部長（常務執行役員企画・渉外担当兼社長室長兼ＰｏｗｅｒＤｅｖｉｃｅＥｎａｂｌｉｎｇＧｒｏｕｐリーダー）取締役、吉田芳明
社長室長兼新企画商品開発室副室長兼ＰｏｗｅｒＤｅｖｉｃｅＥｎａｂｌｉｎｇＧｒｏｕｐリーダー、常務執行役員、津久井幸一
ナノテクノロジー事業本部副本部長（テクノロジー開発本部長）執行役員、関野隆
管理本部事業総務部長、下山真理
事業推進本部標準化推進部長、塙隆宏
メモリテスト事業本部第２開発部長、坂井満
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(2016年5月1日)
メカニカル生産技術、佐川慎
ナノテクノロジー生産技術、小林義仁
ものづくり企画統括部長（アウトソーシング推進）生産本部副本部長、小野明
ものづくり企画統括部アウトソーシング、市川睦
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(2016年4月1日)
ＣＴＳ事業部長、木村学
ＣＴＳ事業部ＡＰ開発部長、岩崎秀樹
ＣＴＳ事業部ＰＦ開発部長、吉田和博
システムソリューション本部共通ソリューション統括部長（システムソリューション本部副本部長）栗原修
フィールドサービス本部ＦＳビジネス統括部長（システムソリューション本部副本部長）佐藤裕司
フィールドサービス本部ＦＳビジネス統括部ソフトウエア・ソリューション部長（システムソリューション本部ソフトウエア・ソリューション部長）足立耕一
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(2016年3月1日)
ＦＡ事業部商品技術部長、村山孝夫
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