(2021年4月1日)
CTO（デジタルソリューションズ事業部担当）代表取締役兼社長執行役員兼CEO、馬立稔和
CAO兼CRO経営管理本部長（人事・総務本部長兼リスク管理・経営監査部担当）代表取締役兼専務執行役員、小田島匠
経営監査部・サステナビリティ戦略部・ITソリューション本部担当、取締役兼専務執行役員兼CFO、徳成旨亮
常務執行役員兼CMO（執行役員半導体装置事業部副事業部長）生産本部長、石塚伸之
常務執行役員社長室長兼光学本部担当（同光学本部長）大村泰弘
執行役員、半導体装置事業部開発統括部長、森田真弘
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(2021年1月1日)
財務・経理本部財務企画部長、財務・経理本部長、奥村徹也
光学本部第三設計部長（ヘルスケア事業部技術統括部システム開発部長）石山敏朗
光学本部開発戦略部長（第三設計部長）鈴木剛司
ヘルスケア事業部技術統括部システム開発部長、佐瀬一郎
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(2020年12月1日)
生産本部製造部長、平井彩
光ガラス代表取締役兼社長執行役員（生産本部製造部長）神保宏樹
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(2020年11月1日)
光学本部副本部長（第一開発部長）恩田稔
光学本部第一開発部長、竹内淳
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