(2017年6月29日)
光学本部・研究開発本部担当、代表取締役兼社長執行役員、牛田一雄
経営戦略本部長兼知的財産本部担当、代表取締役兼副社長執行役員兼ＣＦＯ、岡昌志
ヘルスケア事業部担当（ヘルスケア事業担当）取締役兼常務執行役員、岡本恭幸
取締役兼常務執行役員人事・総務本部長（執行役員人事・総務本部副本部長）小田島匠
取締役兼常務執行役員経営戦略本部副本部長（執行役員）財務・経理本部長、萩原哲
相談役（会長）木村真琴
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(2017年6月1日)
半導体装置事業部生産統括部投影レンズ製造部長、竜田泰資
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(2017年5月1日)
財務・経理本部経理部長、奥村徹也
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(2017年4月1日)
光学本部担当、取締役兼常務執行役員コアテクノロジー本部長、大木裕史
人事・総務本部大井製作所長、小倉宏之
業務本部品質・環境管理部長、関道子
ＩＴソリューション本部ＩＴ戦略企画部長（コアテクノロジー本部企画部長）飯田光生
知的財産本部知的財産二部長、知的財産本部長、井上英也
知的財産本部知的財産三部長、平尾詩乃
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