(2012年6月1日)
システム本部担当（カスタムプロダクツ事業部管掌）取締役兼執行役員ビジネススタッフセンター長、金沢健一
ガラス事業室管掌（液晶露光装置事業部長）常務執行役員精機カンパニー副プレジデント、川端邦雄
コアテクノロジーセンター長兼カスタムプロダクツ事業部管掌（コアテクノロジーセンター副センター長）常務執行役員研究開発本部長、大木裕史
映像カンパニー副プレジデント、執行役員生産本部長、小坂庸雄
精機カンパニー液晶露光装置事業部長、執行役員第二開発部ゼネラルマネジャー、浜田智秀
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(2012年6月1日)
システム本部情報システム部ゼネラルマネジャー、秋山広治
知的財産本部長、知的財産企画部ゼネラルマネジャー、井上英也
ビジネススタッフセンター水戸製作所長、和田正通
コアテクノロジーセンター製造技術本部デバイス開発部ゼネラルマネジャー（デバイス技術部ゼネラルマネジャー）青木滋
コアテクノロジーセンター製造技術本部デバイス技術部ゼネラルマネジャー、野村仁
コアテクノロジーセンター製造技術本部電子技術部ゼネラルマネジャー、山口敦史
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(2012年6月1日)
半導体露光装置事業部長（営業本部長）執行役員副プレジデント、馬立稔和
企画本部長、事業企画部ゼネラルマネジャー、小田島匠
企画本部サービス戦略部ゼネラルマネジャー（営業本部営業管理部ゼネラルマネジャー）宮岡久泰
半導体露光装置事業部営業本部長（生産本部製造管理部ゼネラルマネジャー）山石裕之
半導体露光装置事業部営業本部営業第三部ゼネラルマネジャー、荘司真理
半導体露光装置事業部生産本部長補佐兼製造管理部ゼネラルマネジャー（営業本部サービス戦略部ゼネラルマネジャー）石塚伸之
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(2012年5月1日)
ガラス事業室長（第一製造部ゼネラルマネジャー）平岩弘之
ガラス事業室第一製造部ゼネラルマネジャー、大村幸司
ガラス事業室第二製造部ゼネラルマネジャー、神保宏樹
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