(2016年7月1日)
人事部長（総務部長）執行役員管理本部副本部長、土肥健史
法務・知財室長（人事部長）内田則昭
総務部長（法務・知財室長）東山英夫
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(2016年7月1日)
第一営業本部長代理、第二営業・、大津健治
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(2016年6月16日)
会長（副社長）久我宣之
代表取締役兼執行役員常務（取締役兼執行役員）長谷川雅巳
監査役（監査室長）河合信郎
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(2016年6月16日)
執行役員常務（執行役員）上小川昭浩
執行役員管理本部長兼グローバルオペレーション支援本部長（執行役員管理本部副本部長）ＩＴ企画部長・、佐伯幸雄
執行役員ＣＮカンパニーバイスプレジデント、ＣＮ技術本部長、岩田郁雄
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(2016年6月16日)
監査室長（海外事業推進室長）広瀬雅彦
海外事業推進室長、経営管理部長兼営業企画室長、土本俊幸
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(2016年5月1日)
インレビアムカンパニー設計開発センター長（インレビアムカンパニーバイスプレジデント兼品質管理部長）執行役員第二開発部長・、篠田一樹
インレビアムカンパニーセールス＆マーケティング本部長（インレビアムカンパニーバイスプレジデント）有川博章
品質管理部長、矢島道則
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(2016年5月1日)
インダストリアルソリューションカンパニーバイスプレジデント、小山正
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(2016年4月1日)
第一営業本部第三営業部長（第三営業本部第一営業部長）赤坂聡
第一営業本部第四営業部長（第三営業本部第二営業部長）武井聡
第三営業本部第一営業部長（第三営業部長）竹之内卓也
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(2016年4月1日)
プロダクト第一技術部長（プロダクト技術部長）宮木伸治
プロダクト第二技術部長、中島浩二
アプリケーションサービス開発室長、神本光敬
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(2016年1月1日)
グローバルオペレーション支援本部長、副社長執行役員管理本部長、久我宣之
ＩＴ企画部長、執行役員管理副本部長、佐伯幸雄
グローバルオペレーション支援副本部長、執行役員管理副本部長兼環境管理室長、浅野升徳
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(2016年1月1日)
インダストリアルソリューションカンパニープレジデント、執行役員グローバル営業統括本部長、長谷川雅巳
システムソリューションカンパニーバイスプレジデント兼ＳＳテクニカルマーケティング（システムソリューション事業部長）藤井俊彰
イノベイティブソリューションカンパニープレジデント（第一事業部長兼第二事業部長）安藤智明
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(2015年12月1日)
TOKYOELECTRONDEVICESHANGHAILTD.副総経理（ビジネスデベロップメント部長代理）漢那憲昭
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(2015年10月1日)
ＩｏＴカンパニーバイスプレジデント兼ＩｏＴソリューション部長（エンベデッドソリューション部長）福田良平
エンベデッドソリューション部長（エンベデッドソリューション部長代理）東日本新規営業推進グループリーダー、古川俊光
ＣＮ第二営業本部長（ＣＮ第一営業本部長）執行役員ＣＮカンパニーバイスプレジデント、林英樹
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(2015年10月1日)
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(2015年7月1日)
インレビアムマーケティング（ＰＬＤソリューション）西脇章彦
インレビアム営業、千野修
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(2015年6月17日)
取締役、執行役員、長谷川雅巳
同（東京エレクトロンＢＰ社長兼東京エレクトロンエージェンシー社長）佐伯幸雄
監査役、成瀬圭珠子
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(2015年6月17日)
執行役員、グローバル営業統括本部長代理兼海外営業本部長、安村達志
執行役員、インレビアムカンパニーバイスプレジデント兼第二開発兼品質管理・、篠田一樹
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(2015年4月1日)
グローバル営業統括本部長、執行役員長、谷川雅巳
同統括本部長代理兼海外営業本部長、安村達志
第一営業本部第二営業（横浜第三営業）大津健治
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(2015年2月1日)
大阪管理室長、西川正三
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(2015年1月1日)
社長（取締役兼執行役員）徳重敦之（とくしげあつし）
取締役（社長）栗木康幸
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