(2015年6月26日)
上席執行役員（執行役員）スティーヴ・Ａ・カルモーン＝Steven Ａ. Culmone
技術本部計測技術本部長（事業本部技術本部計測技術）執行役員、原田茂人
執行役員、営業本部販売戦略部長（事業本部営業本部販売戦略部長）・、矢島寿衛
執行役員技術本部電子技術本部長、量産センサ技術部長（事業本部技術本部量産センサ技術部長）・、遠山秀司
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(2015年6月26日)
取締役、小松哲夫
同、佐瀬正敬
退任（取締役）鈴木正徳
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(2014年7月1日)
事業本部担当（技術開発センター・生産技術部・品質保証部担当兼事業本部長兼営業本部長）取締役、平井三治
経理部・情報システム部担当、取締役、真島政弘
事業本部製造本部担当（上田計測機器工場・丸子電子機器工場担当兼事業本部副本部長兼丸子電子機器工場長）取締役、佐藤正継
同技術本部・技術開発センター担当（丸子電子機器工場成膜技術）同、長坂宏
ＦＢＧ事業部担当（事業本部技術開発センター長）同、山岸一也
技術開発センター長（同丸子電子機器工場電子技術）執行役員、中沢茂夫
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(2014年6月27日)
常務執行役員（取締役兼アッシュクロフト―ナガノケイキホールディングス取締役兼アッシュクロフト取締役）吉池純一
執行役員、事業本部上田計測機器工場副工場長兼製造・、鶴田浩昭
同、角龍徳夫
同、臼田宏
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