(2024年6月20日)
取締役、技術本部副本部長兼TS品質統括部長、桝井積
取締役、犀潟工場長、中沢慶一
取締役、武生工場長、上杉敏治
取締役、営業本部長、中瀬古洋
取締役経理部長、鈴木智明
監査役、荒木亮
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(2022年6月21日)
営業関係担当（営業本部長兼ディスクリートウェーハ事業部長）常務持田正司
取締役技術本部副本部長兼環境安全（武生工場長）岩崎淳
退任（取締役）大森修二
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(2019年6月17日)
取締役、三木克彦
監査役、上田英継
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(2018年6月22日)
技術本部長兼新製品推進室長（技術本部副本部長）取締役、後藤正三郎
取締役技術本部副本部長兼環境安全部長、大森修二
顧問（常務技術本部長兼新製品推進室長兼環境安全関係担当）秋山謙二
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