(2024年4月1日)
副社長執行役員管理統括（専務執行役員調達本部長兼品質管理担当）取締役、平田正治郎
副社長執行役員事業統括（専務執行役員事業本部長）取締役、前田繁
経理・法務・知財担当、取締役兼執行役員管理本部長、二宮秀樹
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(2023年10月1日)
グローバル事業本部営業技術部長（事業本部付部長）木下博文
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(2023年6月23日)
取締役（常勤監査役）元田直邦
取締役（監査役）今村憲
取締役（監査役）遠藤恭彦
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(2023年4月1日)
事業本部第一ビジネスユニット熊本第一事業部製造部長、冨田隆二
事業本部第二ビジネスユニット熊本第二事業部長（熊本第二事業部副事業部長兼第三技術部長）楠口雄一
事業本部第二ビジネスユニット関西事業部長（関西事業部副事業部長兼技術部長）村山昌資
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(2023年4月1日)
専務執行役員（常務執行役員）取締役調達本部長、平田正治郎
専務執行役員（常務執行役員）取締役事業本部長、前田繁
常務執行役員（常務執行役員）取締役グローバル事業本部長、小崎勝
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(2023年3月31日)
顧問（執行役員第二ビジネスユニット長兼関西事業部長）小泉正弘
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(2023年3月1日)
管理本部人事部付部長兼HirataAutomatedMachineryShanghaiに出向（事業本部第一ビジネスユニット総括部長）原英治
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(2023年1月1日)
事業本部第二ビジネスユニット付部長（管理本部 人事部付部長 Hirata Automated Machinery　Shanghai 社に出向）守瀬泰夫
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(2022年10月1日)
事業本部第三ビジネスユニット長兼装置第二事業部長（第四ビジネスユニット長兼デバイスセンター長）執行役員、平川武則
研究開発本部長（事業本部第三ビジネスユニット長兼装置第一事業部長）執行役員、西村茂春
事業本部第四ビジネスユニット長兼デバイスセンター長（第三ビジネスユニット装置第二事業部長）執行役員、戸田和博
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(2022年6月24日)
取締役、執行役員事業本部長、前田繁
取締役、執行役員グローバル事業本部長、小崎勝
取締役、小山珠美
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(2022年6月1日)
退任（取締役常務執行役員CTO研究開発本部長）平賀靖英
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(2022年4月1日)
管理本部経営企画・情報企画・IR広報・秘書担当（総務・人事担当）執行役員、首藤道信
事業本部第一ビジネスユニット長（熊本第一事業部長）執行役員、松崎敏行
執行役員管理本部副本部長兼法務・知財・コンプライアンス・経理担当（法務部長）二宮秀樹
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(2021年6月24日)
取締役、小川暁
取締役、笹本和夫
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(2021年6月24日)
取締役、常務執行役員兼CTO研究開発本部長、平賀靖英
取締役、常務執行役員調達本部長、平田正治郎
取締役、常務執行役員管理本部長、藤本靖博
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(2021年4月1日)
グローバル事業本部担当（グローバル事業本部長）取締役兼専務執行役員、本郷仁基
事業本部担当（事業本部長）取締役兼専務執行役員、黒田健治
内部統制・SDGs担当、常務執行役員管理本部長、藤本靖博
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(2020年6月25日)
退任（取締役）安高純一郎
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(2020年4月1日)
品質管理担当、常務執行役員調達本部長、平田正治郎
管理本部長（経理・IR担当）常務執行役員、藤本靖博
事業本部第二ビジネスユニット熊本第二事業部長（関西事業部長）執行役員、谷口敬隆
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(2019年6月25日)
常務執行役員（取締役兼常務執行役員）藤原五男
常務執行役員（取締役兼常務執行役員）CTO兼研究開発本部長、平賀靖英
常務執行役員（取締役兼常務執行役員）市原雄一
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(2019年6月25日)
退任（副社長）橘勝義
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(2019年4月1日)
専務執行役員（執行役員）管理本部長、安高純一郎
専務執行役員（執行役員）グローバル事業本部長、本郷仁基
専務執行役員（執行役員）事業本部長、黒田健治
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