(2026年6月中旬)
専務執行役員グローバル拠点戦略担当（常務執行役員）取締役ファインメカトロニクス事業部長、黒川禎明
常務執行役員グローバルサービス推進担当（執行役員）ファインメカトロニクス事業部副事業部長兼ファインメカトロニクス装置統括部長、原野朋美
常務執行役員アドバンスドパッケージング事業推進担当（執行役員メカトロニクスシステム装置統括部長）メカトロニクスシステム事業部副事業部長、荻本真一
執行役員、DX推進部長、望月斉圭
執行役員メカトロニクスシステム事業部副事業部長兼メカトロニクスシステム装置統括部長（メカトロニクスシステム装置統括部統括副部長）小倉弘明
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(2025年6月中旬)
取締役、小野満
取締役、沢由紀子
監査役、桑田啓二
退任（取締役）高田裕一郎
退任（監査役）金子和也
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(2024年10月1日)
メカトロニクスシステム事業部副事業部長兼メカトロニクスシステム装置統括部長（生産・調達本部長）執行役員、荻本真一
生産・調達本部長（メカトロニクスシステム事業部副事業部長兼メカトロニクスシステム装置統括部長）執行役員、坂田滋
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(2024年6月下旬)
監査役、井上智由
顧問（取締役兼専務執行役員経営管理本部長）池田賢一
執行役員経営管理本部長（経営管理本部副本部長）今井晋二
執行役員、総務人事管理本部長兼横浜事業所長兼さがみ野事業所長、末永秀隆
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