(2014年7月1日)

常務執行役員（執行役員人事部担当）取締役経営企画室長、 本吉光 　>

常務執行役員電子機器事業部担当（執行役員）取締役営業本部長、 末代政輔 　>

生産本部長兼調達センター・生産技術センター・環境・安全部担当（営業本部副本部長兼半導体装置事業部・電子機器事業部・産業機器事業部担当）取締役兼執行役員、 小田木秀幸 　>

産業機器事業部担当、常務執行役員、 岩下節生 　>

半導体電子技術研究所長兼半導体装置事業部担当（半導体電子技術研究所担当）執行役員技術企画室長兼超材料研究所長、 斎藤一也 　>

人事部担当、執行役員、 梅田彰 　>

執行役員、 松本亮 　>

営業本部副本部長、市場開拓室長、 萩之内剛 　>

生産本部調達センター長（ＦＰＤ・ＰＶ事業部生産管理部長） 西田茂利 　>

出典： https://ir.ulvac.co.jp/ja/ir/newsrelease/PressRelease-8049534583687763573/main/0/link/File264195776.pdf

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