(2014年7月1日)
常務執行役員（執行役員人事部担当）取締役経営企画室長、本吉光
常務執行役員電子機器事業部担当（執行役員）取締役営業本部長、末代政輔
生産本部長兼調達センター・生産技術センター・環境・安全部担当（営業本部副本部長兼半導体装置事業部・電子機器事業部・産業機器事業部担当）取締役兼執行役員、小田木秀幸
産業機器事業部担当、常務執行役員、岩下節生
半導体電子技術研究所長兼半導体装置事業部担当（半導体電子技術研究所担当）執行役員技術企画室長兼超材料研究所長、斎藤一也
人事部担当、執行役員、梅田彰
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