(2024年7月1日)
取締役（専務）白忠烈
常務執行役員（上席執行役員）コンポーネント事業本部長、申周勲
常務執行役員開発本部未来技術研究所長兼知財・マテリアル事業推進担当（上席執行役員グローバル技術戦略担当）開発本部長、清田淳也
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(2024年1月1日)
安全保障貿易管理部長、上席執行役員生産本部長兼サステナブル経営推進室長、衣川正剛
グローバル技術戦略担当、上席執行役員開発本部長、清田淳也
安全保障貿易管理部付（生産本部付）執行役員、岡正
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(2023年12月31日)
退任（執行役員グローバル技術戦略担当）鄒弘綱
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(2023年10月1日)
欧米ビジネス担当兼ULVACTechnologiesPresident&CEO、上席執行役員営業本部長、近藤智保
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(2023年9月28日)
監査役、森尻裕二
監査役、本田宗哉
退任（取締役）本吉光
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(2022年9月29日)
監査役、斎藤一也
退任（監査役）矢作充
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(2021年9月29日)
退任（取締役）末代政輔
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(2021年7月1日)
半導体・電子機器事業部長（電子機器事業部長）常務執行役員品質システム部長、島田鉄也
常務執行役員（上席執行役員）財務部長、青木貞男
営業統括兼半導体事業開発担当（半導体装置事業部長）上席執行役員、近藤智保
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(2021年1月1日)
品質システム部長（品質技術部長）常務執行役員電子機器事業部長、島田鉄也
調達センター長（調達部長）執行役員、山口堅二
人事部長、内田孝司
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(2020年10月1日)
品質技術部長、常務執行役員電子機器事業部長、島田鉄也
愛発科中国投資副董事長（品質技術部長）上席執行役員、佐藤重光
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(2020年9月29日)
取締役、西啓介
退任（取締役）御林彰
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(2020年7月1日)
社長（代表取締役兼執行役員社長人財センター長）岩下節生
副社長グループ会社統括（取締役兼執行役員副社長経営推進センター長兼関連会社担当）本吉光
専務新ビジネス創成・サービスビジネス担当（取締役兼専務執行役員新ビジネス創成センター長）末代政輔
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(2020年4月1日)
技術情報室長（半導体電子技術研究所長）上席執行役員、斎藤一也
先進技術研究所長（超材料研究所長）清田淳也
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(2020年1月1日)
執行役員、FPD・PV事業部長、清水康男
製造センター生産技術部長（半導体装置事業部設計部長）福川幸司
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(2019年9月27日)
取締役、専務執行役員、末代政輔
取締役、執行役員、青木貞男
相談役（取締役相談役）小日向久治
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(2019年7月1日)
経営推進センター長（事業企画統括兼経営企画室・グローバル事業推進室・グローバル市場・技術戦略室担当）取締役兼執行役員副社長、本吉光
イノベーションセンター長（開発本部長兼技術企画室・超材料研究所・未来技術研究所担当）取締役兼常務執行役員、白忠烈
製造センター長（生産本部長兼FPD・PV事業部・産業機器事業部・調達センター・制御開発センター・生産技術センター担当）取締役兼常務執行役員、佐藤重光
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(2019年1月1日)
人財センター長、代表取締役兼執行役員社長、岩下節生
技術企画室担当（マテリアル事業部担当）取締役兼常務執行役員開発本部長、白忠烈
マーケティング室担当（マーケティング室長）取締役兼常務執行役員営業本部長、石黒雅彦
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(2018年9月27日)
取締役相談役（会長）小日向久治
取締役、常務執行役員、白忠烈
取締役、取締役、佐藤重光
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(2018年7月1日)
執行役員副社長（専務執行役員事業企画本部長兼総務部担当）取締役、本吉光
常務執行役員営業本部長兼マーケティング室長、石黒雅彦
開発本部長（開発統括）常務執行役員、白忠烈
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(2018年1月1日)
生産本部長兼生産統括兼産業機器事業部担当、常務執行役員ＦＰＤ・ＰＶ事業部長、佐藤重光
技術企画室担当（技術企画室長）執行役員半導体電子技術研究所長、斎藤一也
法務部長、事業企画本部経営企画室長、高橋信次
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