(2025年9月26日)
専務、CSO、島田鉄也
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(2025年7月1日)
専務兼CFO経営戦略・管理部門担当（常務）管理本部長、青木貞男
専務執行役員兼CSO生産本部長兼事業戦略・生産部門担当（常務執行役員経営改革推進担当）CS事業本部長、島田鉄也
半導体電子ビジネス開拓担当（アルバック・クライオ社長）常務執行役員、申周勲
コンポーネント事業本部コンポーネントBU長兼アルバック機工社長兼アルバック・クライオ社長（マテリアル事業推進担当）常務執行役員開発本部長兼コンポーネント事業本部長、清田淳也
半導体電子事業本部半導体装置BU長（営業本部長兼装置事業本部半導体装置事業部長）上席執行役員、近藤智保
上席執行役員半導体電子事業本部長兼電子機器BU長（執行役員装置事業本部電子機器事業部長）岩井治憲
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(2025年2月1日)
コンポーネント事業本部長、常務執行役員開発本部長兼未来技術研究所長、清田淳也
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(2024年10月1日)
装置事業本部半導体装置事業部長、上席執行役員営業本部長兼TechnologyCenterPYEONGTAEKセンター長・ULVAC Technologies, Inc., Chairman/ULVAC KOREA, Ltd. 理事会長、近藤智保
半導体マーケティング担当（装置事業本部半導体装置事業部長）執行役員、岩沢宏明
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