(2020年1月1日)

執行役員、FPD・PV事業部長、 清水康男 　>

製造センター生産技術部長（半導体装置事業部設計部長） 福川幸司 　>

出典： https://file.swcms.net/file/ulvac/ja/PressRelease1/auto_20191218438507/pdfFile.pdf

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