(2021年7月1日)
半導体・電子機器事業部長（電子機器事業部長）常務執行役員品質システム部長、島田鉄也
常務執行役員（上席執行役員）財務部長、青木貞男
営業統括兼半導体事業開発担当（半導体装置事業部長）上席執行役員、近藤智保
FPD事業部長（FPD・PV事業部長）執行役員、清水康男
DX企画推進部長（生産システム部長）福川幸司
戦略企画室付（上席執行役員技術情報担当）斉藤一也
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(2020年1月1日)
執行役員、FPD・PV事業部長、清水康男
製造センター生産技術部長（半導体装置事業部設計部長）福川幸司
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(2018年7月1日)
執行役員副社長（専務執行役員事業企画本部長兼総務部担当）取締役、本吉光
常務執行役員営業本部長兼マーケティング室長、石黒雅彦
開発本部長（開発統括）常務執行役員、白忠烈
ＦＰＤ・ＰＶ事業部・制御開発センター担当（ＦＰＤ・ＰＶ事業部長兼生産統括兼環境・安全部担当）常務執行役員生産本部長、佐藤重光
上席執行役員（執行役員）半導体電子技術研究所長、斎藤一也
上席執行役員コンポーネント企画センター長兼規格品事業部担当（執行役員規格品事業部長）柳沢清和
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(2016年7月16日)
上席執行役員（執行役員）メカトロ事業部精機本部長兼生産本部長、倉徹
プラント生産統轄本部製薬設備技術本部長（プラント技術本部副本部長）執行役員再生医療システム本部副本部長、太田正人
プラント生産統轄本部包装機技術本部長（プラント技術本部副本部長）執行役員ＰＭエンジ・、柳瀬隆志
執行役員、再生医療システム本部技術・、米田健二
執行役員財経本部副本部長兼再生医療システム本部法務担当、財務・、宮前和浩
プラント生産統轄本部プラント生産本部副本部長、製造１・、中井一雄
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