(2014年9月1日)

業務本部ロジスティクス部長、 小林稔 　>

半導体装置事業部開発統括部第一開発部長（次世代開発部長） 柴崎祐一 　>

半導体装置事業部技術統括部長（開発統括部第一開発部長） 川口良一 　>

半導体装置事業部技術統括部カスタマーソリューション部長、 白田陽介 　>

機構改革

業務本部ロジスティクス部を新設

〔半導体装置事業部〕
(1)技術統括部を新設し、品質保証部、生産統括部の技術部、アドバンストエンジニアリング部を改称したカスタマーソリューション部を移管
(2)開発統括部開発管理部を廃止
(3)同統括部の次世代開発部を第一開発部に統合

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