(2022年1月1日)
半導体装置事業部副事業部長（開発統括部長）執行役員、森田真弘
財務・経理本部副本部長、松本武史
半導体装置事業部開発統括部長、白田陽介
カスタムプロダクツ事業部営業部長、千葉明広
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(2018年8月1日)
半導体装置事業部生産・技術統括部カスタマーソリューション部長、若本信二
ニコンプレシジョンに出向（半導体装置事業部生産・技術統括部カスタマーソリューション部長）白田陽介
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(2014年9月1日)
業務本部ロジスティクス部長、小林稔
半導体装置事業部開発統括部第一開発部長（次世代開発部長）柴崎祐一
半導体装置事業部技術統括部長（開発統括部第一開発部長）川口良一
半導体装置事業部技術統括部カスタマーソリューション部長、白田陽介
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