(2021年5月7日)

開発本部副本部長（第二開発担当）常務執行役員AOI研究開発部長、 米沢良 　>

開発本部副本部長、執行役員FIB研究開発部長兼AI研究開発部長、 水村通伸 　>

第二開発担当（第四開発担当兼アニール研究開発部長）執行役員、 後藤順 　>

アニール研究開発部長、 小杉純一 　>

生産本部副本部長兼CS部長（技術本部副本部長兼リペア技術部長）執行役員、 伊藤行男 　>

製造部長（生産部長） 竹下正雄 　>

生産技術部長（測定検査技術部長） 稲垣等 　>

技術本部副本部長兼電気設計部長（PI露光技術部長） 秋山和光 　>

ソフト設計部長、 下里健太郎 　>

機械設計部長、 後藤禎 　>

機構改革

(1)技術本部内を再編し、ソフト設計部、電気設計部、機械設計部とする
(2)生産本部内を再編し、CS部、製造部、生産技術部とする

045-338-1980