(2021年5月7日)
開発本部副本部長（第二開発担当）常務執行役員AOI研究開発部長、米沢良
開発本部副本部長、執行役員FIB研究開発部長兼AI研究開発部長、水村通伸
第二開発担当（第四開発担当兼アニール研究開発部長）執行役員、後藤順
アニール研究開発部長、小杉純一
生産本部副本部長兼CS部長（技術本部副本部長兼リペア技術部長）執行役員、伊藤行男
製造部長（生産部長）竹下正雄
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(2017年2月1日)
ＶＮＳカンパニー長、取締役、天日和仁
執行役員購買・調達担当兼購買・調達部長、田口和明
ＶＮＳカンパニーＣＳ部長、松坂昌明
ＶＮＳカンパニー技術部長、永井一馬
ＶＮＳカンパニー生産部長、竹下正雄
ＶＴカンパニープロセス技術部長、山本裕一
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