(2012年9月27日)

代表取締役、執行役員社長、 小日向久治 　>

取締役、ニッセイ信用保証会長、 皆川卓士 　>

取締役、ジャパン・インダストリアル・ソリューションズ副社長、 池田修三 　>

執行役員（取締役兼執行役員）経理部長、 佐藤孔史 　>

執行役員（取締役兼執行役員）財務部長、 中村孝男 　>

執行役員（取締役兼執行役員）コストダウン推進本部長、 平野裕之 　>

執行役員（取締役兼執行役員）技術企画室長兼超材料研究所長、 斎藤一也 　>

執行役員（取締役兼執行役員） 岩下節生 　>

執行役員（取締役兼執行役員）営業本部長、 山元正年 　>

退任（取締役相談役） 中村久三 　>

退任（取締役） 山川洋幸 　>

退任（取締役） 藤山潤樹 　>

退任（取締役） 加藤丈夫 　>

退任（取締役） 五戸成史 　>

退任（取締役） 宇治原潔 　>

執行役員、 白忠烈 　>

出典： https://ir.ulvac.co.jp/ja/ir/newsrelease/PressRelease2696664875274114492/main/0/link/File563669328.pdf

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