(2014年7月1日)
経営企画室グローバル市場・技術戦略室長（半導体電子技術研究所長）鄒弘網
経営企画室広報・ＩＲ室長、鈴木憲明
技術開発部要素技術開発部長（ＭＥＭＳ研究室長）前平謙
技術開発部メカトロ開発部長（メカトロコンポーネント開発部長）佐藤誠一
半導体電子技術研究所副所長（超材料研究所第２研究部長）谷典明
半導体電子技術研究所副所長（企画管理部長）樋口靖
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(2014年6月24日)
取締役、アルバック執行役員生産本部長、平野裕之
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(2013年7月1日)
グローバル生産企画室担当（総務部担当）取締役兼執行役員経営企画室長、本吉光
営業本部長兼規格品事業部・マテリアル事業部・市場開拓室・営業管理室担当（生産統括室・情報システムセンター担当）取締役兼執行役員、末代政輔
営業本部副本部長兼産業機器事業部担当、取締役兼執行役員、小田木秀幸
総務部担当、執行役員経理部長、佐藤孔史
生産本部長兼情報システムセンター・環境・安全部担当（産業機器事業部担当）執行役員、平野裕之
総務部長、鈴木洋一
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(2012年9月27日)
代表取締役、執行役員社長、小日向久治
取締役、ニッセイ信用保証会長、皆川卓士
取締役、ジャパン・インダストリアル・ソリューションズ副社長、池田修三
執行役員（取締役兼執行役員）経理部長、佐藤孔史
執行役員（取締役兼執行役員）財務部長、中村孝男
執行役員（取締役兼執行役員）コストダウン推進本部長、平野裕之
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