(2021年4月1日)
専務広報・IR担当（常務）最高財務責任者、近藤洋一
シニアフェロー（最高技術責任者）常務、灘原壮一
常務執行役員事業企画・IM事業担当兼コーポレートマーケティング室長（SCREENセミコンダクターソリューションズ執行役員兼SCREENSPEGermany社長）大塚純二
常務執行役員（上席執行役員）石川義久
上席執行役員（執行役員）吉岡正喜
経理・財務室経理部長、執行役員経理・財務室長、宮川明彦
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(2019年4月1日)
執行役専務兼日立ハイテクファインシステムズ社長（執行役常務）モノづくり戦略本部長、本田穣慈
CFO財務本部長（CIO兼CTrO）執行役常務、桜井真司
産業ソリューション事業統括本部長（先端産業部材事業統括本部長）執行役常務、田嶋浩
執行役常務兼CDO（執行役産業システム事業統括本部長兼日立ハイテクソリューションズ社長）飯泉孝
CSO（日立ハイテクノロジーズ韓国会長）執行役、加藤仁
産業ソリューション事業統括本部副統括本部長（先端産業部材事業統括本部副統括本部長）執行役、三善慶太
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(2017年4月1日)
執行役常務兼ＣＲＯ（執行役ＣＳＲ本部長）ＣＨＲＯ人事総務本部長、堀越久志
ＣＩＯ兼ＣＴｒＯ（監査室長）執行役、桜井真司
執行役、日立ハイテクソリューションズ社長、飯泉孝
執行役科学・医用システム事業統括本部副統括本部長、科学システム製品本部長、伊東祐博
執行役科学・医用システム事業統括本部副統括本部長（科学システム営業本部長兼科学システム三部長）高木幹夫
取締役会室長、下野禎彦
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(2015年7月1日)
ＩＴ本部ＩＴシステム（ＩＴシステム第二）竹中宏二
ＣＳＲ本部環境推進（名古屋支店名古屋総務）森下正博
総務・人事本部人事企画（ＣＳＲ本部セキュリティ企画推進）熊井寿昭
名古屋支店名古屋総務（キヤノンカスタマーサポート総務）中村栄志
イメージングシステム事業統括本部イメージングプロダクトサポート本部イメージングプロダクトサポート企画、青木幸治
Ｃ事業推進本部Ｃ販売支援（Ｃ西日本第一営業本部Ｃ中部第二営業）岩崎正吾
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