(2025年6月20日)
会長（社長兼最高経営責任者）広江敏朗
社長兼最高経営責任者（専務執行役員）後藤正人（ごとう　まさと）
副社長（専務）最高財務責任者、近藤洋一
特別顧問（会長）垣内永次
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(2025年4月1日)
常務執行役員財務戦略本部長（SCREENセミコンダクターソリューションズ取締役兼常務執行役員）石村学
経営戦略本部本部長兼経営企画室長（財務戦略本部長）上席執行役員、宮川明彦
経営戦略本部IT室長、ITプラットフォーム部長、西村聡
経営戦略本部IT室プロセス変革推進部長（SCREENセミコンダクターソリューションズIT統轄部IT戦略部長）東田美登里
経営戦略本部IT室IT推進部長（SCREENセミコンダクターソリューションズIT統轄部IT推進部長）田中靖二
サステナビリティ戦略本部サステナビリティ企画室長（サステナビリティ推進室長）島田清孝
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(2024年10月1日)
執行役員技術開発戦略本部グローバル技術戦略担当兼グローバル技術戦略室長、冨田寛
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(2024年10月1日)
経営戦略本部戦略投資室長、石井潤詞
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