(2023年12月1日)
クリーントラックマーケティング兼サーフェスプレパレーションシステムマーケティング部長、執行役員CTSPSBUGM、鷲尾康裕
CTSPS営業二部長（クリーントラックマーケティング兼サーフェスプレパレーションシステムマーケティング部長）中島英男
DSSBUSPEシステム部シニアディレクター（CTSPS営業二部長）董承憲
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(2021年7月1日)
GlobalSales本部GM（サーフェスプレパレーションシステム営業部長）杉村浩孝
サーフェスプレパレーションシステム営業部長（サーフェスプレパレーションシステムマーケティング部長）西新哲也
サーフェスプレパレーションシステムマーケティング部長、クリーントラックマーケティング部長、中島英男
CTSPSBU業務企画部長（クリーントラック営業部長）小林安彦
クリーントラック営業部長、三浦公也
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(2016年7月1日)
開発副本部長（開発・生産本部副本部長兼コーポレート製品開発副担当）取締役兼常務執行役員、鄭基市
開発副本部長（開発・生産本部副本部長兼塗布・洗浄担当）取締役兼常務執行役員、飽本正巳
常務執行役員グローバル・フィールド本部統括副本部長（執行役員ＳＤＢＵＧＭ）大久保豪
常務執行役員塗布・洗浄ＢＵＧＭ（執行役員ＣＴＢＵＧＭ）池田世崇
常務執行役員（執行役員）ＦＳＢＵＧＭ、春原清
成膜ＢＵＧＭ（ＴＰＳＢＵＧＭ）執行役員、多田新吾
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