(2026年2月1日)
エグゼクティブアドバイザー（Tokyo Electron Taiwan Ltd.　董事長）伊東晃
TokyoElectronTaiwan董事長、コーポレートオフィサー兼専務執行役員、長久保達也
前工程事業本部担当GM（執行役員兼TokyoElectronTaiwan董事・総裁）Roger・Chang
Tokyo Electron Taiwan Ltd.　董事・総裁（Global Sales本部 GM Tokyo Electron Europe Ltd.Member of the Board）執行役員、仲間誠二
Tokyo Electron Taiwan Ltd.　董事・副総裁、Tokyo Electron Taiwan Ltd.　GBP Division, Vice President、Nick・Ko
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(2026年1月1日)
チーフ・コンプライアンス・オフィサー兼コンプライアンス部長、執行役員GlobalBusinessPlatform本部ディビジョンオフィサー兼人事総務ユニットGM兼法務コンプライアンスユニットGM、阿曽達也
みなとみらい事業所長、岩元勇人
コーポレート技術本部次世代ボンダープロジェクトリーダー、溝本康隆
コーポレート技術本部次世代装置開発プロジェクトリーダー（東京エレクトロンテクノロジーソリューションズプロジェクトリーダー）和村有
ITオペレーション部長、IT戦略推進部長、下平朗
GlobalSales本部ディレクター（Global Sales本部部長）九州支社長、須之内勉
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(2025年7月1日)
業務デザイン戦略本部担当（業務改革DX推進プロジェクトリーダー）副社長兼コーポレートオフィサー、佐々木貞夫
コーポレート技術本部担当、コーポレートオフィサー兼専務執行役員、三田野好伸
コーポレート技術本部ディビジョンオフィサー、執行役員、長谷部一秀
コーポレート技術本部革新技術開発センター長、松島圭一
常務執行役員（執行役員）AccountSales本部ディビジョンオフィサー、多田新吾
AccountSales本部GM（アカウントGM）執行役員GlobalSales本部GM、守田雅博
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(2025年6月17日)
取締役（監査役）田原計志
取締役、篠原幸弘
監査役（TokyoElectronShanghai董事長）松浦次彦
監査役、牧野あや子
退任（取締役）布川好一
退任（監査役）和貝享介
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