(2017年4月1日)
監査センター長（東京エレクトロン九州執行役員）伊吹方志
東京エレクトロン健康保険組合常務理事兼東京エレクトロン企業年金基金常務理事（監査センター長）犬塚勇
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(2012年2月1日)
経営戦略室長、執行役員知的財産・、堀哲朗
総務（経営戦略室長）前島裕紀
東京エレクトロン九州執行役員（総務）伊吹方志
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